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光學表面輪廓儀中圖儀器

簡要描述:SuperViewW1光學表面輪廓儀中圖儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數,是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-08-08
  • 訪  問  量:28

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

SuperViewW1光學表面輪廓儀中圖儀器由照明光源系統,光學成像系統,垂直掃描系統以及數據處理系統構成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。與臺階儀相比具有以下優點:

一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

二是測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;

三是不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;

四是對高深寬比的溝槽結構,可以快速而精確的得到理想的測量結果。


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SuperViewW1光學表面輪廓儀中圖儀器的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合下,分辨率可達0.1nm。載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達0.1nm。



產品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數,廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

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