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關于機床激光干涉儀,那些不得不說的事

發布時間:2021-07-15      點擊次數:340
   機床激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。光具有波粒二象性。
  兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區域始終加強,在另一些區域則始終削弱,形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨立光源發出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩定干涉現象。
  機床激光干涉儀的原理是激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
  若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
  機床激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線,為數控機床的誤差修正提供可靠依據,現場使用尤為方便。
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