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激光干涉儀在計量檢定領域的應用

發布時間:2022-08-09      點擊次數:35

激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長度基準,是高精度、高靈敏度的測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛用于裝備如數控機床、激光切割機、光刻機等,在計量檢定領域也能大展身手。


1、測長機檢定

傳統的測長機示值誤差主要采用量塊進行校準,受環境因素影響較大,校準條件要求高,且量程大于1m的測長機需要分段校準,效率低,而使用激光干涉儀進行校準,不僅可以提高效率,還可通過環境補償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進行補償,提高校準精度。

圖片1.jpg

SJ6000激光干涉儀檢定測長機


2、三坐標測量機示值誤差測量

隨著三坐標測量機技術的更新和發展,使用傳統的量塊、球板等已經難以滿足大型三坐標測量機的檢測要求,激光干涉儀測量準確度高,測量范圍大,測量數據豐富,適合測量三坐標各項幾何誤差。


SJ6000激光干涉儀檢測三坐標測量機


3、位移傳感器檢定

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢,其特點是測量精度高、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比,位移傳感器自動檢定系統與SJ6000激光干涉儀(標準)對定長位移進行測試對比,得出往復測試實驗結果。


圖片3.jpg

SJ6000激光干涉儀檢測位移傳感器


4、影像儀定位精度測量

影像儀傳統檢測方法采用線紋尺比對法進行,存在著檢測精度低、測量系統誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準、 檢測效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對影像儀的定位誤差進行快速檢測,對測量數據進行運算分析,利用軟件生產補償文件快速實施二維平面多點位補償,可大大降低設備制造過程中的精度檢測難度、提升檢測效率及補償效率。


SJ6000激光干涉儀檢測影像儀


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