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雙頻激光干涉儀測量前的調整方法

發布時間:2021-12-13      點擊次數:245
   雙頻激光干涉儀是一種高精度、高測量范圍的測長儀,由于其優良的性能,被廣泛地應用于多種場合,特別是對長、大位移的測量。對于長度的測量,一般200米以上的測量都是一般的長度測量,3m以下的長度測量是3m,3~200m的測量稱為大尺寸測量。在一般長度測量中,被廣泛使用??稍谑覂冗M行恒溫、恒濕、防震的量塊、標尺、標尺、坐標測量儀等。還可在普通車間對大型機床進行標定,既能測量幾十米長,又能測量手表零件等微小運動,不僅能測量長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何尺寸。是科學研究、光刻機、數控機床、艦船等行業都離不開的光學尺子,用于測量零部件的尺寸,角度,位置,直線性,也是檢定各類數控機床、激光加工機床以及光刻機臺的精度,進行誤差補償的基本儀器。
  隨著智能制造技術的發展,檢測已經成為生產過程中越來越重要的一部分,位移檢測是檢測手段之一。一般來說,設備的檢測精度應達到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工,其檢測精度至少應小于1微米,因此雙頻激光干涉儀已經成為智能制造設備的關鍵部件之一。
  但是,由于雙頻激光測量系統測量時與一般的自準直儀不同,下面就來具體介紹下調整方法:
  1.調光束平行于被測軌道。
  (1)將反射鏡座和分光鏡座放置在被測軌道上,分光鏡的高度放置在可調節范圍的中間,調整高度,雷射頭與反射鏡、分光鏡大致保持在同一高度。
  (2)激光頭的左右擺動是根據反射鏡上光點在Y方向的偏移來調節的。在Y方向的鏡面上,光點不會偏移。
  2.調節鏡子和反射鏡的鏡面垂直于激光束。
  (1)調整反射鏡的高度,使激光頭上孔發出的光束反射后全部返回雷射頭(孔內指示燈亮);
  (2)放置分光鏡,覆蓋反射鏡,調整分光鏡的高度,使激光頭上孔發出的光束通過分光鏡后全部返回(指示燈亮);
  以上就是小編為大家介紹的雙頻激光干涉儀的相關內容,希望對大家能有所幫助。
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