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SuperView W1光學3D表面輪廓儀拼出“天衣無縫”的3D全景

發布時間:2019-12-20      點擊次數:737

 “見一葉而知深秋,窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀,在超精密加工顯微測量場景中發揮的作用恰如其分。

  大多數的場景中,只需檢測一個數十、數百微米的區域,即可取得“見微知著”的效果,但在少數需要檢測超精密器件表面全貌的場景中,借助中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀的自動拼接功能,就能夠快速實現大區域、高精度的測量。

場景一:超光滑的弧形表面

  上圖是一款旋轉拋物面零件,用于微小位移和角度檢測,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,針對其凹面弧形的檢測需求,現有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀,能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

  針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,完美重建其超光滑的表面區域,不見一絲重疊縫隙。

場景二:粗糙的特征表面

  上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體尺寸在7mm左右,中心的催化劑區域呈低反射率特點,而圓環外呈高反射率特點,整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質量。

  根據客戶精度要求,可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調節。

場景三:粗糙的有孔洞特征平面

  上圖為手機插卡槽處的金屬薄片模塊,需要測量不含凹面區域的表面輪廓和平整度,因其表面較為粗糙且了測量區域,可使用高速FVSI算法,并在拼接測量設定時,使用地圖導航功能,在掃描時即可自動跳過凹面區域完成其余整體形貌的拼接測量。

  自動拼接功能的使用,并不局限在上述三種案例當中,光滑或是粗糙、平面或是異形結構,當必須測量超出適配鏡頭下的單視場區域時,都可以采用自動拼接,而中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀,可根據不同表面特點進行重建算法的切換,無論何種形貌,都可生成“天衣無縫”的3D全景。

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